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Pulse-Modulated RF Thermal Plasma for Advanced Materials Processing

Ishigaki, T. / Sakuta, T.

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Titel:

Pulse-Modulated RF Thermal Plasma for Advanced Materials Processing

Beteiligte:

Ishigaki, T. (Autor:in) / Sakuta, T. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF INTELLIGENT MATERIAL SYSTEMS AND STRUCTURES ; 10 ; 565-568

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1045-389X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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