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Monte-Carlo simulation of laser ablated plasma for thin film deposition

Franklin, S. R. / Thareja, R. K.

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Titel:

Monte-Carlo simulation of laser ablated plasma for thin film deposition

Beteiligte:

Franklin, S. R. (Autor:in) / Thareja, R. K. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 177 ; 15-21

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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