Pure-Silica Zeolite Low-k Dielectric Thin Films: Fid-Bau Portal

Pure-Silica Zeolite Low-k Dielectric Thin Films

Wang, Z. / Wang, H. / Mitra, A. / Huang, L. / Yan, Y.

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Titel:

Pure-Silica Zeolite Low-k Dielectric Thin Films

Beteiligte:

Wang, Z. (Autor:in) / Wang, H. (Autor:in) / Mitra, A. (Autor:in) / Huang, L. (Autor:in) / Yan, Y. (Autor:in)

Erschienen in:

ADVANCED MATERIALS -DEERFIELD BEACH THEN WEINHEIM- ; 13 ; 746-749

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0935-9648

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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