`Smart Cut' Silicon by Proton Implantation: Lifetime Studies with a Pulsed Positron Beam: Fid-Bau Portal

`Smart Cut' Silicon by Proton Implantation: Lifetime Studies with a Pulsed Positron Beam

Sperr, P. / Kogel, G. / Bauer-Kugelmann, W. / Triftshauser, W. / Fujinami, M.

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Titel:

`Smart Cut' Silicon by Proton Implantation: Lifetime Studies with a Pulsed Positron Beam

Beteiligte:

Sperr, P. (Autor:in) / Kogel, G. (Autor:in) / Bauer-Kugelmann, W. (Autor:in) / Triftshauser, W. (Autor:in) / Fujinami, M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 363/365 ; 532-536

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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