Spin-on Mesoporous Silica Films with Ultralow Dielectric Constants, Ordered Pore Structures, and Hydrophobic Surfaces: Fid-Bau Portal

Spin-on Mesoporous Silica Films with Ultralow Dielectric Constants, Ordered Pore Structures, and Hydrophobic Surfaces

Yang, C. M. / Cho, A. T. / Pan, F. M. / Tsai, T. G. / Chao, K. J.

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Titel:

Spin-on Mesoporous Silica Films with Ultralow Dielectric Constants, Ordered Pore Structures, and Hydrophobic Surfaces

Beteiligte:

Yang, C. M. (Autor:in) / Cho, A. T. (Autor:in) / Pan, F. M. (Autor:in) / Tsai, T. G. (Autor:in) / Chao, K. J. (Autor:in)

Erschienen in:

ADVANCED MATERIALS -DEERFIELD BEACH THEN WEINHEIM- ; 13 ; 1099-1102

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0935-9648

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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