Optical and thermal characterization of AlN thin films deposited by pulsed laser deposition: Fid-Bau Portal

Optical and thermal characterization of AlN thin films deposited by pulsed laser deposition

Jacquot, A. / Lenoir, B. / Dauscher, A. / Verardi, P. / Craciun, F. / Stolzer, M. / Gartner, M. / Dinescu, M.

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Titel:

Optical and thermal characterization of AlN thin films deposited by pulsed laser deposition

Beteiligte:

Jacquot, A. (Autor:in) / Lenoir, B. (Autor:in) / Dauscher, A. (Autor:in) / Verardi, P. (Autor:in) / Craciun, F. (Autor:in) / Stolzer, M. (Autor:in) / Gartner, M. (Autor:in) / Dinescu, M. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 186 ; 507-512

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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