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Web Based Process and Material Selection for MEMS Design and Manufacturing

Zha, X. F. / Du, H.

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Titel:

Web Based Process and Material Selection for MEMS Design and Manufacturing

Beteiligte:

Zha, X. F. (Autor:in) / Du, H. (Autor:in)

Erschienen in:

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 247-252

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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