Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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Vertically integrated computer-aided design for device processing
Vertically integrated computer-aided design for device processing
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Makabe, T. (Autor:in) / Maeshige, K. (Autor:in)
APPLIED SURFACE SCIENCE ; 192 ; 176-200
01.01.2002
25 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
DDC:
621.35
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