Porosity in porous methyl-silsesquioxane (MSQ) films: Fid-Bau Portal

Porosity in porous methyl-silsesquioxane (MSQ) films

Xu, J. / Moxom, J. / Yang, S. / Suzuki, R. / Ohdaira, T.

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Titel:

Porosity in porous methyl-silsesquioxane (MSQ) films

Beteiligte:

Xu, J. (Autor:in) / Moxom, J. (Autor:in) / Yang, S. (Autor:in) / Suzuki, R. (Autor:in) / Ohdaira, T. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 194 ; 189-194

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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