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    Titel:

    Lithographic tools for producing patterned films composed of gas phase generated nanocrystals

    Beteiligte:

    Otten, F. (Autor:in) / Auer, U. (Autor:in) / Kruis, F. E. (Autor:in) / Prost, W. (Autor:in) / Tegude, F. J. (Autor:in) / Fissan, H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND TECHNOLOGY -LONDON- ; 18 ; 717-720

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2002

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0267-0836

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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