Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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Copper Wires for High Speed Logic LSI Prepared by Low Pressure Long Throw Sputtering Method
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Saito, T. (Autor:in) / Hashimoto, T. (Autor:in) / Ohashi, N. (Autor:in) / Fujiwara, T. (Autor:in) / Yamaguchi, H. (Autor:in)
MATERIALS TRANSACTIONS ; 43 ; 1599-1604
01.01.2002
6 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
DDC:
620.11
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ITO Films Prepared by Long-throw Magnetron Sputtering without Oxygen Partial Pressure
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