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Large area PLD of nanometer-multilayers

Dietsch, R. / Holz, T. / Weibach, D. / Scholz, R.

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Titel:

Large area PLD of nanometer-multilayers

Beteiligte:

Dietsch, R. (Autor:in) / Holz, T. (Autor:in) / Weibach, D. (Autor:in) / Scholz, R. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 197-198 ; 169-174

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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