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Study on the precursors for La2O3 thin films deposited on silicon substrate

Jun, J. / Jun, J. H. / Choi, D. J.

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Titel:

Study on the precursors for La2O3 thin films deposited on silicon substrate

Beteiligte:

Jun, J. (Autor:in) / Jun, J. H. (Autor:in) / Choi, D. J. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS ; 21 ; 1847-1849

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0261-8028

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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