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Microwave-plasma processes in microelectronics technology

Bordusov, S. V.

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Titel:

Microwave-plasma processes in microelectronics technology

Beteiligte:

Bordusov, S. V. (Autor:in)

Erschienen in:

SURFACE ENGINEERING AND APPLIED ELECTROCHEMISTRY C/C OF ELEKTRONNAIA OBRABOTKA MATERIALOV ; 54-59

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1068-3755

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.44 / 660.297

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