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    Dokumentinformationen
    Titel:

    A Study of AlN Films Prepared by Arc Ion Plating

    Beteiligte:

    Huang, M. (Autor:in) / Lu, C. (Autor:in) / Wang, B. (Autor:in) / Sun, C. (Autor:in) / Huang, R. (Autor:in) / Wen, L. (Autor:in) / Lin, G. (Autor:in) / Dong, C. (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE AND TECHNOLOGY -SHENYANG- ; 19 ; 27-29

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2003

    Format / Umfang:

    3 pages

    ISSN:

    1005-0302

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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