Preparation of metal-organic decomposition-derived strontium zirconate dielectric thin films: Fid-Bau Portal

Preparation of metal-organic decomposition-derived strontium zirconate dielectric thin films

Chen, C. / Zhu, W. / Yu, T. / Chen, X. / Yao, X.

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Titel:

Preparation of metal-organic decomposition-derived strontium zirconate dielectric thin films

Beteiligte:

Chen, C. (Autor:in) / Zhu, W. (Autor:in) / Yu, T. (Autor:in) / Chen, X. (Autor:in) / Yao, X. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 211 ; 244-249

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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