SiC nanofibers grown by high power microwave plasma chemical vapor deposition: Fid-Bau Portal

SiC nanofibers grown by high power microwave plasma chemical vapor deposition

Honda, S. i. / Baek, Y. G. / Ikuno, T. / Kohara, H. / Katayama, M. / Oura, K. / Hirao, T.

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Titel:

SiC nanofibers grown by high power microwave plasma chemical vapor deposition

Beteiligte:

Honda, S. i. (Autor:in) / Baek, Y. G. (Autor:in) / Ikuno, T. (Autor:in) / Kohara, H. (Autor:in) / Katayama, M. (Autor:in) / Oura, K. (Autor:in) / Hirao, T. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 212-213 ; 378-382

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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