Optical, structural and electrical properties of mc-Si:H films deposited by SiH4+H2: Fid-Bau Portal

Optical, structural and electrical properties of mc-Si:H films deposited by SiH4+H2

Ambrosone, G. / Coscia, U. / Lettieri, S. / Maddalena, P. / Minarini, C.

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Titel:

Optical, structural and electrical properties of mc-Si:H films deposited by SiH4+H2

Beteiligte:

Ambrosone, G. (Autor:in) / Coscia, U. (Autor:in) / Lettieri, S. (Autor:in) / Maddalena, P. (Autor:in) / Minarini, C. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 101 ; 236-241

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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