Deposition of Y2O3 stabilized ZrO2 thin films from Zr(DPM)4 and Y(DPM)3 by aerosol-assisted MOCVD: Fid-Bau Portal

Deposition of Y2O3 stabilized ZrO2 thin films from Zr(DPM)4 and Y(DPM)3 by aerosol-assisted MOCVD

Song, H. / Xia, C. / Jiang, Y. / Meng, G. / Peng, D.

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Titel:

Deposition of Y2O3 stabilized ZrO2 thin films from Zr(DPM)4 and Y(DPM)3 by aerosol-assisted MOCVD

Beteiligte:

Song, H. (Autor:in) / Xia, C. (Autor:in) / Jiang, Y. (Autor:in) / Meng, G. (Autor:in) / Peng, D. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS LETTERS ; 57 ; 3833-3838

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0167-577X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1105 / 530

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