Numerical simulation of the production processes of layered materials: Fid-Bau Portal

Numerical simulation of the production processes of layered materials

Sibona, G. J. / Schreiber, S. / Hoppe, R. H. / Stritzker, B. / Revnic, A.

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Titel:

Numerical simulation of the production processes of layered materials

Beteiligte:

Sibona, G. J. (Autor:in) / Schreiber, S. (Autor:in) / Hoppe, R. H. (Autor:in) / Stritzker, B. (Autor:in) / Revnic, A. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 6 ; 71-76

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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