Effects of Initial Nitridation on the Characteristics of SiC-SiO~2 Interfaces: Fid-Bau Portal

Effects of Initial Nitridation on the Characteristics of SiC-SiO~2 Interfaces

Cheong, K.-Y. / Dimitrijev, S. / Han, J.

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Titel:

Effects of Initial Nitridation on the Characteristics of SiC-SiO~2 Interfaces

Beteiligte:

Cheong, K.-Y. (Autor:in) / Dimitrijev, S. (Autor:in) / Han, J. (Autor:in) / Bergman, P. / Janzen, E.

Erschienen in:

Silicon Carbide and Related Materials 2002 ; 583-586

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 433/436

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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