Study of Orientation Relationship between beta-FeSi~2 Thin Film and Si Substrate: Fid-Bau Portal

Study of Orientation Relationship between beta-FeSi~2 Thin Film and Si Substrate

Zhu, Y.-m. / Zhang, W.-z. / Ye, F.

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Titel:

Study of Orientation Relationship between beta-FeSi~2 Thin Film and Si Substrate

Beteiligte:

Zhu, Y.-m. (Autor:in) / Zhang, W.-z. (Autor:in) / Ye, F. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -HANGZHOU- ; 21 ; 635-639

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1004-793X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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