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    Titel:

    Positronium Annihilation Lifetime Spectroscopy of Porous Low-k Films with Periodic Pore Structures

    Beteiligte:

    Ohdaira, T. (Autor:in) / Suzuki, R. (Autor:in) / Shirataki, H. (Autor:in) / Matsuno, S.-Y. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 445/446 ; 334-336

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2004

    Format / Umfang:

    3 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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