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Optical thin film formation by oxygen cluster ion beam assisted depositions

Toyoda, N. / Yamada, I.

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Titel:

Optical thin film formation by oxygen cluster ion beam assisted depositions

Beteiligte:

Toyoda, N. (Autor:in) / Yamada, I. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 226 ; 231-236

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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