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ESR signature of tetra-interstitial defect in silicon

Mchedlidze, T. / Yonenaga, I. / Suezawa, M.

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Titel:

ESR signature of tetra-interstitial defect in silicon

Beteiligte:

Mchedlidze, T. (Autor:in) / Yonenaga, I. (Autor:in) / Suezawa, M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 6 ; 263-266

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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