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Electrical properties of thin rf sputtered aluminum oxide films

Voigt, M. / Sokolowski, M.

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Titel:

Electrical properties of thin rf sputtered aluminum oxide films

Beteiligte:

Voigt, M. (Autor:in) / Sokolowski, M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 109 ; 99-103

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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