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Evaporation of Phosphorus in Molten Silicon by an Electron Beam Irradiation Method

Hanazawa, K. / Yuge, N. / Kato, Y.

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Titel:

Evaporation of Phosphorus in Molten Silicon by an Electron Beam Irradiation Method

Beteiligte:

Hanazawa, K. (Autor:in) / Yuge, N. (Autor:in) / Kato, Y. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS TRANSACTIONS ; 45 ; 844-849

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1345-9678

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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