Chemi-Mechanical Polishing of On-Axis Semi-Insulating SiC Substrates: Fid-Bau Portal

Chemi-Mechanical Polishing of On-Axis Semi-Insulating SiC Substrates

Heydemann, V. D. / Everson, W. J. / Gamble, R. D. / Snyder, D. W. / Skowronski, M.

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Titel:

Chemi-Mechanical Polishing of On-Axis Semi-Insulating SiC Substrates

Beteiligte:

Heydemann, V. D. (Autor:in) / Everson, W. J. (Autor:in) / Gamble, R. D. (Autor:in) / Snyder, D. W. (Autor:in) / Skowronski, M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 457/460 ; 805-808

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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