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    Titel:

    Time resolved Langmuir probe characterisation of reactive pulse magnetron sputtering of MgO thin films

    Beteiligte:

    Richter, F. (Autor:in) / Welzel, T. (Autor:in) / Dunger, T. (Autor:in) / Kupfer, H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    SURFACE ENGINEERING -LONDON-. ; 20 ; 163-166

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2004

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0267-0844

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.44

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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