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    Titel:

    Preparation and Characterization of Lead Zirconate Titanate Thin Films on Si Substrate by Metal-Organic Chemical Vapor Deposition

    Beteiligte:

    Sakurai, A. (Autor:in) / Nakaiso, T. (Autor:in) / Nishida, K. (Autor:in) / Ando, A. (Autor:in) / Sakabe, Y. (Autor:in) / Miyayama, M. / Takenaka, T. / Takata, M. / Shinozaki, K.

    Erschienen in:

    Electroceramics in Japan VII ; 61-64

    KEY ENGINEERING MATERIALS

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2004

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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