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Fatigue crack growth in micro-machined single-crystal silicon

Renuart, E. D. / Fitzgerald, A. M. / Kenny, T. W. / Dauskardt, R. H.

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Titel:

Fatigue crack growth in micro-machined single-crystal silicon

Beteiligte:

Renuart, E. D. (Autor:in) / Fitzgerald, A. M. (Autor:in) / Kenny, T. W. (Autor:in) / Dauskardt, R. H. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH THEN WARRENDALE- ; 19 ; 2635-2640

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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