Chalcogenide thin films for direct resistors fabrication and trimming: Fid-Bau Portal

Chalcogenide thin films for direct resistors fabrication and trimming

Lullo, G. / Castiglia, A. / Carini, G. / Arnone, C.

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Titel:

Chalcogenide thin films for direct resistors fabrication and trimming

Beteiligte:

Lullo, G. (Autor:in) / Castiglia, A. (Autor:in) / Carini, G. (Autor:in) / Arnone, C. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 7 ; 337-341

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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