Characterization of Nanoporous Low Dielectric Polysilsesquioxane Thin Films: Fid-Bau Portal

Characterization of Nanoporous Low Dielectric Polysilsesquioxane Thin Films

Hyeon-Lee, J. / Lyu, Y. Y. / Lee, M. S. / Yim, J. H. / Kim, S. Y.

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Titel:

Characterization of Nanoporous Low Dielectric Polysilsesquioxane Thin Films

Beteiligte:

Hyeon-Lee, J. (Autor:in) / Lyu, Y. Y. (Autor:in) / Lee, M. S. (Autor:in) / Yim, J. H. (Autor:in) / Kim, S. Y. (Autor:in) / Chung, K. H. / Yoo, S.-A. / Shin, Y. H. / Min, B. J. / Park, S.-N.

Erschienen in:

On the Convergence of Bio-, Information-, Environmental-, Energy-, Space- and Nano-Technologies Part 2 ; 907-911

KEY ENGINEERING MATERIALS

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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