Preparation of SrBi~2Ta~2O~9 Ferroelectric Thin Films by Liquid Source Misted Chemical Vapor Deposition Method Using Inorganic Salt Solution: Fid-Bau Portal

Preparation of SrBi~2Ta~2O~9 Ferroelectric Thin Films by Liquid Source Misted Chemical Vapor Deposition Method Using Inorganic Salt Solution

Ji, H. M. / Gu, Y. / Meng, H. / Xu, T. X.

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Titel:

Preparation of SrBi~2Ta~2O~9 Ferroelectric Thin Films by Liquid Source Misted Chemical Vapor Deposition Method Using Inorganic Salt Solution

Beteiligte:

Ji, H. M. (Autor:in) / Gu, Y. (Autor:in) / Meng, H. (Autor:in) / Xu, T. X. (Autor:in) / Pan, W. / Gong, J. / Ge, C.-C. / Li, J.-F.

Erschienen in:

High-Performance Ceramics III ; 853-856

KEY ENGINEERING MATERIALS

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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