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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Annealing of Aluminum Implanted 4H-SiC: Comparison of Furnace and Lamp Annealing

    Beteiligte:

    Rambach, M. (Autor:in) / Bauer, A. J. (Autor:in) / Frey, L. (Autor:in) / Friedrichs, P. (Autor:in) / Ryssel, H. (Autor:in) / Nipoti, R. / Poggi, A. / Scorzoni, A.

    Erschienen in:

    Silicon Carbide and Related Materials 2004 ; 621-624

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 483/485

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2005

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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