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    Titel:

    Fluorine-free and fluorine containing MOCVD precursors for electronic oxides: a comparison

    Beteiligte:

    Bedoya, C. (Autor:in) / Condorelli, G. G. (Autor:in) / Di Mauro, A. (Autor:in) / Anastasi, G. (Autor:in) / Fragala, I. L. (Autor:in) / Lisoni, J. G. (Autor:in) / Wouters, D. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 118 ; 264-269

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2005

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0921-5107

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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