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Nano-scale Cu metal patterning by using an atomic force microscope

Tomita, Y. / Hasegawa, Y. / Kobayashi, K.

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Titel:

Nano-scale Cu metal patterning by using an atomic force microscope

Beteiligte:

Tomita, Y. (Autor:in) / Hasegawa, Y. (Autor:in) / Kobayashi, K. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 244 ; 107-110

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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