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    Titel:

    The Use of Functionally Graded Poly-SiGe Layers for MEMS Applications

    Beteiligte:

    Witvrouw, A. (Autor:in) / Mehta, A. (Autor:in) / Van der Biest, O. / Gasik, M. / Vleugels, J.

    Erschienen in:

    Functionally Graded Materials VIII FGM2004 ; 255-260

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 492/493

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2005

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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