Uniformity and characterisation of PVD aluminium films: Fid-Bau Portal

Uniformity and characterisation of PVD aluminium films

Zhong, Z. W. / Wang, J. H.

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Titel:

Uniformity and characterisation of PVD aluminium films

Beteiligte:

Zhong, Z. W. (Autor:in) / Wang, J. H. (Autor:in)

Erschienen in:

SURFACE ENGINEERING -LONDON- ; 21 ; 119-124

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0267-0844

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.44

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