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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Development of an Evanescent Light Measurement System for Si Wafer Microdefect Detection

    Beteiligte:

    Takahashi, S. (Autor:in) / Nakajima, R. (Autor:in) / Miyoshi, T. (Autor:in) / Takaya, Y. (Autor:in) / Takamasu, K. (Autor:in) / Gao, Y. / Tse, S. / Gao, W.

    Erschienen in:

    Measurement Technology and Intelligent Instruments VI ; 15-20

    KEY ENGINEERING MATERIALS ; 295/296

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2005

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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