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A Two-Dimensional Surface Profile Imaging Technique Based on Heterodyne Interferometer

Wang, K. W. / Cai, Z. J. / Zeng, L. J.

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Titel:

A Two-Dimensional Surface Profile Imaging Technique Based on Heterodyne Interferometer

Beteiligte:

Wang, K. W. (Autor:in) / Cai, Z. J. (Autor:in) / Zeng, L. J. (Autor:in) / Gao, Y. / Tse, S. / Gao, W.

Erschienen in:

Measurement Technology and Intelligent Instruments VI ; 477-482

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 295/296

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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