Laser Damage Process in single-Crystalline Silicon with Different 1064nm Nd: YAG Laser Modes: Fid-Bau Portal

Laser Damage Process in single-Crystalline Silicon with Different 1064nm Nd: YAG Laser Modes

Gao, W.-d. / Zhan, M.-q. / Shao, J.-d. / Fan, Z.-x.

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Titel:

Laser Damage Process in single-Crystalline Silicon with Different 1064nm Nd: YAG Laser Modes

Beteiligte:

Gao, W.-d. (Autor:in) / Zhan, M.-q. (Autor:in) / Shao, J.-d. (Autor:in) / Fan, Z.-x. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -HANGZHOU- ; 23 ; 317-320

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1004-793X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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