RF reactive magnetron sputtering for Fe-doped titania films deposited from ceramic targets: Fid-Bau Portal

RF reactive magnetron sputtering for Fe-doped titania films deposited from ceramic targets

Zhang, R. B.

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Titel:

RF reactive magnetron sputtering for Fe-doped titania films deposited from ceramic targets

Beteiligte:

Zhang, R. B. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS RESEARCH BULLETIN ; 40 ; 1584-1590

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0025-5408

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11 / 620

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