Surface modifications of TiN coating by pulsed TEA CO2 and XeCl lasers: Fid-Bau Portal

Surface modifications of TiN coating by pulsed TEA CO2 and XeCl lasers

Trtica, M. S. / Tarasenko, V. F. / Gakovic, B. M. / Fedenev, A. V. / Petkovska, L. T. / Radak, B. B. / Lipatov, E. I. / Shulepov, M. A.

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Titel:

Surface modifications of TiN coating by pulsed TEA CO2 and XeCl lasers

Beteiligte:

Trtica, M. S. (Autor:in) / Tarasenko, V. F. (Autor:in) / Gakovic, B. M. (Autor:in) / Fedenev, A. V. (Autor:in) / Petkovska, L. T. (Autor:in) / Radak, B. B. (Autor:in) / Lipatov, E. I. (Autor:in) / Shulepov, M. A. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 252 ; 474-482

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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