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Preparation of Super-Hard Nanocomposite Films by ICP Assisted Magnetron Sputtering

Miyake, S. / Li, Z. G.

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Titel:

Preparation of Super-Hard Nanocomposite Films by ICP Assisted Magnetron Sputtering

Beteiligte:

Miyake, S. (Autor:in) / Li, Z. G. (Autor:in) / Naka, M. / Yamane, T.

Erschienen in:

New Frontiers of Processing and Engineering in Advanced Materials ; 297-302

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 502

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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