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A cyclic process for the nitridation of Si powder

Kim, M. / Park, J. / Lee, H. W. / Kang, S.

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Titel:

A cyclic process for the nitridation of Si powder

Beteiligte:

Kim, M. (Autor:in) / Park, J. (Autor:in) / Lee, H. W. (Autor:in) / Kang, S. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING A ; 408 ; 85-91

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0921-5093

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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