Atomistic simulations in Si processing: Bridging the gap between atoms and experiments: Fid-Bau Portal

Atomistic simulations in Si processing: Bridging the gap between atoms and experiments

Marques, L. A. / Pelaz, L. / Lopez, P. / Aboy, M. / Santos, I. / Barbolla, J.

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Titel:

Atomistic simulations in Si processing: Bridging the gap between atoms and experiments

Beteiligte:

Marques, L. A. (Autor:in) / Pelaz, L. (Autor:in) / Lopez, P. (Autor:in) / Aboy, M. (Autor:in) / Santos, I. (Autor:in) / Barbolla, J. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 124-125 ; 72-80

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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