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Depth profile analysis of CVD-tungsten oxide thin films in hollow cathode discharge

Gencheva, V.

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Titel:

Depth profile analysis of CVD-tungsten oxide thin films in hollow cathode discharge

Beteiligte:

Gencheva, V. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS LETTERS ; 60 ; 535-537

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0167-577X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1105 / 530

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