Heteroepitaxial Growth and Characterization of 3C-SiC Films on Si Substrates Using LPVCVD: Fid-Bau Portal

Heteroepitaxial Growth and Characterization of 3C-SiC Films on Si Substrates Using LPVCVD

Zheng, H. / Zhu, J. / Fu, Z. / Lin, B. / Li, X.

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Titel:

Heteroepitaxial Growth and Characterization of 3C-SiC Films on Si Substrates Using LPVCVD

Beteiligte:

Zheng, H. (Autor:in) / Zhu, J. (Autor:in) / Fu, Z. (Autor:in) / Lin, B. (Autor:in) / Li, X. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE AND TECHNOLOGY -SHENYANG- ; 21 ; 536-540

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1005-0302

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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