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A Study on the Fabrication of Micro Groove on Si Wafer using Chemical Mechanical Machining

Park, J. / Jeong, H.

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Titel:

A Study on the Fabrication of Micro Groove on Si Wafer using Chemical Mechanical Machining

Beteiligte:

Park, J. (Autor:in) / Jeong, H. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MECHANICAL SCIENCE AND TECHNOLOGY ; 19 ; 2096-2104

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

1738-494X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621

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